在半導(dǎo)體等離子體刻蝕過程中，脈沖電源作為偏置電源具有多項優(yōu)勢，這些優(yōu)勢使其在精細加工和復(fù)雜結(jié)構(gòu)制造中變得越來越重要。以下是脈沖電源在這一應(yīng)用中的主要優(yōu)勢： 1.…
相關(guān)技術(shù)
半導(dǎo)體制造過程中等離子體刻蝕系統(tǒng)的偏置技術(shù)
等離子體刻蝕中的偏置波形 偏置波形在半導(dǎo)體制造的等離子體刻蝕過程中起著關(guān)鍵作用。它們對控制離子能量和方向性至關(guān)重要，這直接影響著刻蝕特性。以下是關(guān)于等離子體刻蝕…
半導(dǎo)體脈沖功率開關(guān)器件綜述
摘要：該文對應(yīng)用于脈沖功率領(lǐng)域的特種半導(dǎo)體開關(guān)器件進行綜述,具體包括反向開關(guān)晶體管(reversely switched dynistor,RSD)、漂移階躍恢…
基于PFN-Marx技術(shù)的緊湊型重頻脈沖功率源
摘要：針對低磁場相對論磁控管高功率微波器件實驗驅(qū)動需求，對基于脈沖形成網(wǎng)絡(luò)（PFN）儲能的高功率脈沖產(chǎn)生技術(shù)進行了研究。為了使其結(jié)構(gòu)緊湊且具有較好的輸出脈沖波形…
阻容分壓器&寬帶高電壓探頭的原理與設(shè)計
阻容(RC)分壓器原理與設(shè)計詳解 1. 詳細電路分析 讓我們更深入地考慮這個電路: R Vin ---/\/\/\----+----Vout | | === C…
感應(yīng)疊加原理和技術(shù)介紹
感應(yīng)疊加器是一種利用電磁感應(yīng)原理實現(xiàn)電壓疊加的裝置，廣泛應(yīng)用于高功率脈沖電源、無線電能傳輸?shù)阮I(lǐng)域。其基本工作原理是通過感應(yīng)電壓的疊加來提高輸出電壓，從而滿足特定…
羅氏線圈原理
羅氏線圈（Rogowski線圈）是一種用于測量交流電流，尤其適用于高電流和脈沖電流的電磁傳感器。其原理基于法拉第電磁感應(yīng)定律，通過檢測導(dǎo)體中電流變化所產(chǎn)生的磁場…
高功率脈沖磁控濺射(HiPIMS)技術(shù)
HiPIMS（高功率脈沖磁控濺射）是一種先進的物理氣相沉積（PVD）技術(shù)，用于在基材上沉積薄膜。以下是對HiPIMS技術(shù)的詳細介紹： 1.?基本原理 工作機制：…